Filmetrics 3D光学轮廓仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
Filmetrics 3D光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率， Profilm3D 同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。
Profilm3D的解析力
=每台Profilm3D带有直观的粗糙度，表面形貌和台阶高度的测量软件。所有常见如ISO 25178 所规范的粗糙度参数都支持，也包括软件功能用于形貌分析，如形状去除和波长过滤，都包含在基本Profilm3D软件。对于更进阶的功能，Filmetrics提供了我们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理 Profilm3D数据，这当然也与业界其他标准分析软件兼容。
大视场
The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野，其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。更进一步减少总体成本。也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样。
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