多层膜厚度测试是指对由多个薄膜层叠加而成的复合膜进行厚度测量。由于多层膜通常由几个不同材料的薄膜层组成,因此测量其厚度需要考虑不同层之间的界面影响以及每个单独层的厚度。
多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化产品。它采用先进的超声波技术,实现了较好的测量精度,具有优秀重复性和再现性。产品可以在任何生产环境中操作。附带的Windows应用软件管理数据传输和自动超声波波形分析。
目前,产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。同时多层膜厚度测试仪还可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损,且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
多层膜厚度测试仪的特点:
1、可以测量多层膜中每一层的厚度;
2、远程控制和在线测量;
3、丰富的材料库:操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据,基本上常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料;
4、操作简单,测速快:膜厚测量仪操作非常简单;
5、带有可升级的扫描功能,进行薄膜二维的测试,并将结果以2D或3D的形式显示;
6、带有构建材料结构的拓展功能,可对多层薄膜数据进行拟合分析,可对薄膜材料进行预先模拟设计。
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