LODAS™ – AI50/100是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。

微流控缺陷检测 Nanotronics nSpec Macro可以照亮样品的整个面，或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场，暗场，正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED，配合使用可调节照明的强度，颜色和位置。

Nanotronics nSpec LS晶圆缺陷检测光学系统是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且，随着需求的发展，配方保存和修改也是非常方便的。