LODAS™ – CI8是列真株式会社推出的一款化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置。

UltraINSP晶圆表面缺陷检测系统是表面缺陷检测的蕞完善的国产化替代产品，系统包括四个模块可以检测所有晶圆表面并同步采集数据：晶圆正面、背面、边缘缺陷检测模块；轮廓、量测和检查模块；

iFocus是一款用于晶圆外观缺陷检测设备，利用STI的2D/3D视觉检测系统，采用双2D Camera同时采集亮区和暗区照片分析特征缺陷；True 3D技术，可以精确量测Bumping高度，Bumping共面性等特征。可适用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等产品外观检测。

LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。

LODAS™ – BI12是列真株式会社推出的一款GlassWafe缺陷检查装置。

LODAS™ – BI8是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。