晶圆键合机 微流控加工

EVG501 晶圆键合机 微流控加工

用于学术和工业研究的多功能手动晶圆键合系统。

适用于：微流体芯片，半导体器件处理，MEMS制造，TSV制作，晶圆先进封装等。

一、简介

EVG501 晶圆键合机 微流控加工是一种高度灵活的晶圆键合系统，可处理从单芯片到150 mm（200 mm键合室的情况下为200 mm）的基片。该工具支持所有常见的晶圆键合工艺，如阳极，玻璃料，焊料，共晶，瞬态液相和直接键合。易于操作的键合室和工具设计，让用户能快速，轻松地重新装配不同的晶圆尺寸和工艺，转换时间小于5分钟。这种多功能性非常适合大学，研发机构或小批量生产。键合室的基本设计在EVG的HVM（量产）工具上是相同的，例如GEMINI，键合程序很容易转移，这样可以轻松扩大生产量。

二、特征

带有150 mm或200 mm加热器的键合室

压力和温度均匀性

与EVG的机械和光学对准器兼容

灵活的设计和研究配置

从单芯片到晶圆

各种工艺（共晶，焊料，TLP，直接键合）

可选涡轮泵（<1E-5 mbar）

可升级阳极键合

开放式腔室设计，便于转换和维护

EVG501 晶圆键合机兼容试生产需求：

同类产品中的低拥有成本

开放式腔室设计，便于转换和维护

小占地面积的200 mm键合系统：0.8㎡

程序与EVG HVM键合系统*兼容

三、参数

大键合力：20kN

加热器尺寸：

150mm（小为单个芯片）

200mm（小100mm）

真空：标准0.1mbar（可选1E-5 mbar）