FR-Mic多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，可以将光斑缩小到几个微米，进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配备一台专用计算机控 制的 XY 工作台，使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性 。也可以搭配自动平台测量 400x400mm 大小样品。
Thetametrisis利用 FR-Mic，通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度，厚度映射，光学常数，反射率，折射率及消光系数进行测量。
【相关应用】
高校 & 研究所实验室
半导体制造 (氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)
MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)
LEDs, VCSELs 多层膜测量应用
数据存储
阳极处理氧化膜
曲面基底的硬化涂层
聚合物膜层, 粘合剂.
生 物医学(聚对二甲苯, 生物膜/气泡壁厚度.)
OEM或客制化应用
【特点】
实时光谱测量
薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量， 厚度映射
使用集成 USB 高品质彩色摄像机进行成像 (所視即所測)
【技术参数】
*测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和 FR-uProbe 的孔径大小有关。
【工作原理】
1、规格如有更改，恕不另行通知；
2、测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较,
3、连续 15 天测量的标准方差平均值。样品：(1um SiO2 on Si.) ,
4、100 次厚度测量的标准方差，样品：1um SiO2 on Si.
5、超过 15 天的标准偏差日平均值样品：1um SiO2 on Si。
6、使用反射式物鏡。
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