岱美仪器拿到PSS客户第2台膜厚测量仪ThetaMetris

此客户是一家面向第三代半导体蓝宝石上氮化镓（GaN on Sapphire）技术的专业衬底材料供应商。公司根据不同的芯片应用领域及其外延技术特征进行适配的衬底材料开发，通过图形化结构设计、不同材料组合应用、工艺制程实现等，为氮化镓器件提供衬底材料综合解决方案。

目前，公司主要产品包括2至6英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）、图形化复合材料衬底（MMS），主要应用于照明、显示、背光源、Mini/Micro LED、深紫外LED等领域。公司建立了广东省半导体衬底工程技术研究开发中心，围绕下一代GaN先进光电子器件技术进行衬底与外延一体化研发，开展GaN功率器件用蓝宝石衬底等技术研究。

FR-Scanner膜厚测量仪是波长范围在370-1020nm的可见光干涉测量，能够测量12nm-100um范围的膜层厚度，准确度高达0.1%或1nm，精度为0.02nm，是一款平台位移精度高，实现多点Mapping测量功能的膜厚测量设备，基于8“样品最快测量速度可达300点每分钟。